Le gaz à mesurer passe par une chambre de mesure dans laquelle se trouvent une source de rayonnement UV et une paire d'électrodes placées face à face. Les molécules du gaz à détecter sont alors ionisées par le rayonnement ultraviolet.
Les restes de molécule créés et chargés positivement et les électrons se déplacent vers les deux électrodes.
Le courant à détecter forme ainsi une mesure pour la concentration de gaz. Il est alors possible, avec la tête de mesure PID, de mesurer les liaisons (VOC) organiques quelque peu fugitives dont le potentiel d'ionisation est inférieur à l'énergie de la source de rayonnement UV (10,6 eV), p.ex. hydrocarbures aromatiques comme le toluène (C7H8) et le xylène (C8H10) ainsi que les hydrocarbures chlorés comme le trichloroéthylène (CHCl3). La détection de gaz toxiques comme la phosphine (PH3) est également possible.
1 = Source de rayonnement UV
2 = Gaz à mesurer
3 = Mesure de charge capacitive